Verfahren zur Herstellung einer akustischen Oberflächenwellenanordnung

Abstract

Verfahren zur Herstellung einer akustischen Oberflächenanordnung mit einer Elektrode, die aus einer Schicht Al und einem anderen Metall besteht, welches umfaßt: Musterbilden der Schicht, durch reaktives Ionenätzen, das unter Verwendung eines Ätzgases, welches ein Cl 2 und He umfassendes gemischtes Gas enthält, bei einem Gasdruck von 0,1 Pa bis 3 Pa durchgeführt wird.

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